A nova linha de máquinas de revestimento contínuo para revestimentos cerâmicos, vidro e metal é um sistema de fabricação altamente especializado, usado principalmente para depositar uma ou mais camadas de filmes funcionais extremamente finos na superfície de substratos (como vidro, plástico, metal, cerâmica, wafer semicondutor, etc.).
Seu núcleo é vaporizar ou ionizar o material de revestimento por meio de vários métodos físicos em um ambiente de alto vácuo e, em seguida, condensá-lo em um filme na superfície do substrato.
Aplicações:
Revestimento a vácuo de cobre, prata e outros materiais condutores na superfície de cerâmicas de componentes elétricos e cerâmicas de placas de circuito.
Também é adequado para deposição a vácuo de várias camadas de filme metálico na superfície de outras peças semelhantes a placas (vidro, placa acrílica, etc.);
Principais características:
Campo magnético confina plasma
Esta é a principal característica da pulverização catódica do magnetron. Ao aplicar um forte campo magnético de um formato específico (geralmente um anel ou formato de pista de corrida) próximo à superfície do alvo, os elétrons são confinados perto da superfície do alvo para fazer um movimento espiral, o que aumenta muito a probabilidade de colisão e ionização de elétrons com átomos de gás de trabalho (geralmente argônio).
Alta taxa de ionização e alta taxa de deposição
O confinamento do campo magnético aumenta significativamente a densidade do plasma e a taxa de ionização, tornando o processo de pulverização catódica mais eficiente.
Isto significa que com pressão de gás relativamente baixa e baixa tensão/potência de pulverização catódica, taxas de pulverização catódica e deposição muito mais altas podem ser alcançadas do que a pulverização catódica convencional em CC.
Processo de baixa temperatura
Como a maior parte da energia é usada para ionizar o gás e pulverizar os átomos alvo, relativamente pouco calor é transferido para o substrato.
Boa qualidade de filme
Boa densidade, forte adesão, alta pureza e boa uniformidade.
Ampla gama de adaptabilidade de materiais
Boa controlabilidade do processo
A linha de produção de revestimento por pulverização catódica de magnetron tornou-se uma das principais tecnologias para a preparação de filmes finos funcionais (como filmes ópticos, filmes condutores, filmes duros-resistentes ao desgaste, filmes decorativos, filmes anti-corrosão, filmes magnéticos, filmes semicondutores, etc.) na indústria moderna devido às suas principais características e vantagens, como alta taxa de deposição, processo de baixa temperatura, excelente qualidade de filme (compacto, forte adesão), ampla adaptabilidade de material, boa uniformidade e controlabilidade. Possui aplicações extremamente amplas em microeletrônica, monitores de tela plana, células solares, revestimentos de ferramentas, peças automotivas, embalagens, decoração, dispositivos ópticos e outros campos.
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