O equipamento de pulverização de magnetron desempenha um papel fundamental em muitos campos, como tratamento de superfície do material e preparação de filmes. A manutenção diária é essencial para garantir a operação estável do equipamento, prolongar sua vida útil e garantir a qualidade do filme pulverizado. O seguinte elaborará os principais pontos da manutenção diária de equipamentos de pulverização de magnetron.
Manutenção do sistema de vácuo
1. Manutenção da bomba de vácuo: A bomba de vácuo é o componente principal do sistema de vácuo do equipamento de pulverização de magnetron. Verifique o nível do óleo da bomba de vácuo regularmente para garantir que o nível de óleo esteja dentro da faixa normal. Após o uso a longo prazo, o desempenho do óleo da bomba a vácuo se deteriorará devido à adsorção de impurezas e umidade. Geralmente, o óleo da bomba a vácuo precisa ser substituído a cada certo período de operação (por exemplo, 2000 horas). Ao mesmo tempo, preste atenção para verificar o aperto da correia da bomba de vácuo. Uma correia muito solta fará com que a velocidade da bomba de vácuo seja instável e afete a eficiência do escape; Muito apertado pode acelerar o desgaste do cinto. Se o cinto mostrar sinais de desgaste ou envelhecimento, deve ser substituído no tempo.
2. Limpeza do tubo de vácuo: o tubo de vácuo é o canal que conecta a bomba de vácuo e a câmara de pulverização, que é fácil de absorver poeira, impurezas e partículas geradas durante o processo de pulverização. Use regularmente uma ferramenta de limpeza de tubo de vácuo dedicada para limpar o interior do tubo para remover impurezas anexadas. Para peças difíceis de limpar, a purga de gás pode ser usada, mas a limpeza do gás de purga deve ser garantida. Além disso, verifique o aperto do tubo para ver se há algum vazamento. Um pequeno vazamento pode fazer com que o grau de vácuo não atinja o estado ideal, afetando o efeito da pulverização. Um detector de vazamento do espectrômetro de massa de hélio pode ser usado para detectar vazamentos no tubo e vazamentos podem ser reparados no tempo.
3. Calibração do medidor de vácuo: o medidor de vácuo é usado para medir o grau de vácuo do sistema de vácuo, e sua precisão de medição está diretamente relacionada ao julgamento do operador do status operacional do equipamento. Calibre regularmente o medidor de vácuo e geralmente é recomendado para calibrá -lo uma vez a cada seis meses ou um ano. O processo de calibração deve ser realizado de acordo com o manual de operação fornecido pelo fabricante do equipamento, e o equipamento de calibração padrão deve ser usado para garantir que os dados de grau de vácuo medidos pelo medidor de vácuo sejam precisos e confiáveis.
Manutenção do alvo da pulverização
1. Limpeza da superfície -alvo: Durante o processo de pulverização, os produtos e impurezas de pulverização se depositarão gradualmente na superfície alvo, afetando a taxa de pulverização e a qualidade do filme. Após cada uso do equipamento, a superfície alvo deve ser limpa no tempo. Para alvos de metal, uma escova de limpeza de alvo especial pode ser usada para afastar suavemente os depósitos de superfície; Para alguns alvos mais sensíveis, como alvos de cerâmica, é necessário um método de limpeza mais suave, como limpar suavemente com um pano macio limpo mergulhado em uma quantidade apropriada de agente de limpeza especial. Evite usar ferramentas nítidas para arranhar a superfície do alvo para evitar danificar o alvo.
2. Inspeção de instalação do destino: Verifique regularmente a instalação do destino para garantir que o destino esteja firmemente instalado. O alvo será bombardeado por íons de alta velocidade durante o processo de pulverização. Se não estiver firmemente instalado, pode fazer com que o alvo se agite ou até caia, o que não afetará apenas o efeito da pulverização, mas também danificará o equipamento. Verifique se a conexão entre o alvo e a fonte de alimentação de pulverização é boa. A frouxidão da conexão pode fazer com que o processo de pulverização seja instável e causar fenômenos anormais, como a provocação. Se a conexão estiver solta, os parafusos de conexão devem ser apertados no tempo.
3. Monitoramento da vida de serviço -alvo: Diferentes tipos de materiais -alvo têm sua vida útil específica. Preste muita atenção ao tempo de pulverização e efeito de pulverização do alvo. Quando a taxa de pulverização do alvo cai significativamente e a qualidade do filme flutua, pode significar que o alvo está próximo de sua vida útil. Substitua o material alvo a tempo para garantir a estabilidade do processo de pulverização e a consistência da qualidade do filme. Ao mesmo tempo, registre o tempo de uso e os parâmetros relacionados do material de destino para fornecer uma base para a substituição do material alvo subsequente e a avaliação de desempenho.
Manutenção do sistema elétrico
1. Inspeção da fonte de alimentação: A fonte de alimentação do equipamento de pulverização de magnetron fornece energia para o processo de pulverização e sua estabilidade é crucial. Verifique regularmente se a tensão de saída e a corrente da fonte de alimentação estão dentro da faixa normal. Você pode usar instrumentos profissionais de medição elétrica para detectar a fonte de alimentação para verificar se os parâmetros de saída são consistentes com os valores de configuração do equipamento. Se a tensão ou corrente de saída flutuar de forma anormal, a causa deve ser prontamente investigada. Pode ser uma falha nos componentes internos da fonte de alimentação ou um problema com a conexão da linha. Além disso, verifique a dissipação de calor da fonte de alimentação para garantir que a fonte de alimentação possa dissipar o calor normalmente durante a operação. A fonte de alimentação gerará muito calor ao trabalhar por um longo tempo. Se a dissipação de calor for ruim, pode causar danos aos componentes. Limpe a poeira no radiador da fonte de alimentação para garantir que o ventilador de resfriamento esteja funcionando normalmente.
2. Manutenção do circuito elétrico: verifique se o circuito elétrico dentro do equipamento está envelhecendo ou danificado. Após o uso a longo prazo, o circuito elétrico pode ter problemas como o envelhecimento da camada de isolamento e os danos do fio, o que trará riscos de segurança e afetará a operação normal do equipamento. Para os circuitos envelhecidos ou danificados encontrados, eles devem ser substituídos no tempo. Ao mesmo tempo, verifique se a conexão da linha é firme para evitar frouxidão, causando um contato ruim. Os pontos de conexão frouxos podem gerar faíscas durante a operação do equipamento, danificar os componentes do equipamento ou até causar fogo. Aperte os parafusos dos pontos de conexão da linha regularmente e verifique o contato entre o plugue e o soquete.
3. Manutenção do sistema de controle: O sistema de controle do equipamento é responsável pelo monitoramento e ajuste de vários parâmetros do processo de pulverização. Faça backup dos dados no sistema de controle regularmente para evitar a perda de dados. Ao mesmo tempo, verifique se existem prompts de atualização para o software do sistema de controle. As atualizações oportunas de software podem corrigir vulnerabilidades conhecidas e melhorar a estabilidade e a função do sistema. Além disso, limpe a interface operacional do sistema de controle para garantir que os botões e a tela do visor funcionem corretamente, e o operador pode inserir com precisão os parâmetros e obter informações de operação do equipamento.
Manutenção do sistema de refrigeração
1. Inspeção do líquido de arrefecimento: O sistema de resfriamento é usado para reduzir o calor gerado pelo equipamento durante a operação. O líquido de arrefecimento é o meio -chave do sistema de resfriamento. Verifique o nível do líquido de arrefecimento regularmente para garantir que o nível esteja dentro da faixa normal. O nível do líquido de arrefecimento cairá devido à evaporação, vazamento, etc. durante o uso a longo prazo. Um nível muito baixo afetará o efeito de resfriamento. Ao mesmo tempo, verifique a qualidade do líquido de arrefecimento e observe se o líquido de arrefecimento está descolorido, turbido ou tem um odor. Se o líquido de arrefecimento se deteriorar, ele deve ser substituído no tempo. Geralmente é recomendável substituir o líquido de arrefecimento a cada 1-2 anos. O ciclo de substituição específico pode ser determinado de acordo com o uso do equipamento e as recomendações do fabricante.
2. Manutenção do tubo de resfriamento: verifique se o tubo de resfriamento está bloqueado. O interior do tubo de resfriamento pode ser bloqueado devido ao acúmulo de escala, impurezas etc., afetando o fluxo normal do líquido de arrefecimento. O tubo pode ser limpo por limpeza química ou limpeza física. A limpeza química pode usar um agente de limpeza de tubos especial, mas preste atenção à concentração do agente de limpeza e ao tempo de limpeza para evitar a corrosão no tubo. A limpeza física pode ser realizada por descarga de armas de água de alta pressão e outros métodos. Além disso, verifique a vedação do tubo de resfriamento para evitar vazamentos de líquido de arrefecimento. Se um vazamento for encontrado no tubo, as peças do tubo danificadas devem ser reparadas ou substituídas no tempo.
3. Inspeção do equipamento de refrigeração: verifique a bomba de água, o radiador e outros equipamentos no sistema de refrigeração. Verifique se a bomba de água está operando normalmente. O impulsor da bomba de água pode afetar a capacidade de bombeamento devido ao desgaste. Se a bomba de água estiver bombeando anormalmente, a bomba de água deve ser reparada ou substituída no tempo. Verifique se as barbatanas do dissipador de calor do radiador estão bloqueadas, limpe a poeira e os detritos nas barbatanas do dissipador de calor e verifique se o radiador pode efetivamente dissipar o calor. Ao mesmo tempo, verifique a operação do ventilador de resfriamento para garantir que o ventilador possa fornecer ar de resfriamento para o radiador normalmente.
Limpeza de equipamentos e manutenção ambiental
1. Limpeza da superfície do equipamento: Limpe regularmente a superfície do equipamento de pulverização de magnetron para remover poeira, óleo e outros poluentes. Você pode usar um pano macio limpo para mergulhar em uma quantidade apropriada de detergente e limpar suavemente a superfície do equipamento. Para algumas manchas teimosas, você pode usar um limpador de equipamento especial, mas tenha cuidado para evitar que o detergente entre no interior do equipamento. Após a limpeza, limpe a superfície do equipamento com um pano limpo para manter a aparência do equipamento limpo.
2. Ambiente de trabalho limpo: o ambiente de trabalho do equipamento também tem um impacto importante em seu desempenho e vida. Mantenha o ambiente de trabalho limpo, limpe regularmente a poeira no chão e evite muito poeira de entrar no equipamento. Controle a temperatura e a umidade do ambiente de trabalho. Geralmente, o equipamento de pulverização de magnetron é adequado para trabalhar em um ambiente com uma temperatura de 20-25 e uma umidade relativa de 40%a 60%. O equipamento de ar condicionado e desumidificação pode ser instalado para ajustar a temperatura e a umidade ambiente. Além disso, verifique se o ambiente de trabalho está bem ventilado para impedir o acúmulo de calor e gases de escape gerados durante a operação do equipamento.
Em suma, a manutenção diária do equipamento de pulverização de magnetron abrange vários aspectos, como sistema de vácuo, alvo de pulverização, sistema elétrico, sistema de refrigeração, limpeza de equipamentos e manutenção ambiental. Os operadores devem seguir estritamente o manual de manutenção do fabricante do equipamento para manutenção regular, descobrir e resolver prontamente problemas em potencial, para garantir a operação estável do equipamento, melhorar a vida útil do equipamento e, assim, melhorar a qualidade e a eficiência da produção do filme pulverizado.
