As etapas operacionais da máquina de revestimento óptico envolvem vários links. A seguir, estão as etapas operacionais detalhadas:
1. Preparação preliminar
Verifique o status da máquina:
Verifique se a máquina de revestimento óptico está em condições de trabalho normal, incluindo se a fonte de alimentação, a fonte de gás, o sistema de resfriamento etc. são normais.
Remova os detritos dentro e ao redor da máquina, especialmente o resíduo do material de evaporação, para garantir um ambiente de trabalho limpo.
Preparação de material:
Selecione lentes ópticas de alta qualidade ou outros materiais que precisam ser revestidos.
Prepare materiais de evaporação, como alvos de metal, para garantir que a pureza e a qualidade dos materiais atendam aos requisitos.
Preparação de equipamentos:
Prepare o equipamento de revestimento necessário, como medidores de espessura do filme a vácuo, bombas de vácuo e fontes de íons.
Verifique se o equipamento está intacto para garantir que ele possa funcionar normalmente.
Preparação ambiental:
Verifique se a câmara de revestimento está bem fechada e não há vazamento de ar.
Prepare ferramentas de limpeza, como limpeza de fluido e água desionizada, bem como moagem, descontaminação e outras ferramentas.
2. Pré-tratamento do revestimento
Polimento:
Polgo finamente a lente óptica para remover minúsculas depressões e impurezas na superfície.
Limpeza:
Use o fluido de limpeza especial e o equipamento de limpeza ultrassônica para limpar a lente óptica para garantir que a superfície esteja limpa.
Após a limpeza, enxágue com água desionizada para remover o fluido de limpeza residual.
Aquecimento a vácuo:
Coloque a lente limpa na câmara de vácuo e aqueça a lente por aquecimento elétrico.
O gás adsorvido na superfície é evaporado e bombeado para garantir a limpeza do ambiente de revestimento.
3. Operação de revestimento
Definir parâmetros de processo:
De acordo com os requisitos de revestimento, defina parâmetros de processo apropriados, como temperatura de evaporação, taxa de evaporação, grau de vácuo, etc.
Processo de evaporação:
Adicione material de evaporação à fonte de evaporação, como o filamento de tungstênio.
Ligue a fonte de evaporação, execute o processo de evaporação e libere átomos ativos.
Depoimento do filme:
Use fontes de energia, como fontes de íons ou feixes de elétrons na câmara de vácuo para depositar os átomos ou moléculas evaporados na superfície da lente.
Durante o processo de deposição, um medidor de espessura do filme a vácuo é usado para monitorar a espessura do filme em tempo real para garantir que os requisitos predeterminados sejam atendidos.
Aquecimento auxiliar:
Durante o processo de deposição, pode ser necessário usar a tecnologia de aquecimento auxiliar para aquecer a superfície do substrato à temperatura de autocondensação da camada de filme, que é propícia à condensação e solidificação da camada do filme.
4. Tratamento pós-revestimento
Resfriamento:
Quando o processo de revestimento for concluído, desligue as fontes de energia como a fonte de evaporação e a fonte de íons.
Permita que a câmara de vácuo esfrie naturalmente até a temperatura ambiente ou use o resfriamento forçado para acelerar o processo de resfriamento.
Retire a peça de trabalho:
Após a pressão do ar na câmara de vácuo retornar à pressão normal, abra a porta da câmara de vácuo e retire a lente revestida.
Limpeza e inspeção:
Limpe a lente revestida para remover impurezas que possam permanecer na superfície.
Verifique a qualidade do revestimento, incluindo se a espessura do filme, a uniformidade, o desempenho óptico etc. atende aos requisitos.
5. Manutenção e cuidado
Limpe a câmara de reação:
Limpe regularmente o interior da câmara de reação e dos componentes, como a placa de aquecimento, para remover materiais e impurezas residuais de evaporação.
Substituição de peças:
De acordo com o uso do equipamento, substitua regularmente as peças por desgaste grave, como fonte de evaporação, fonte de íons, etc.
Manutenção:
Realize manutenção abrangente no equipamento, incluindo a verificação se a fonte de alimentação, a fonte de gás, o sistema de refrigeração etc. estão funcionando corretamente.
Calibre e depure o equipamento regularmente para garantir a precisão e a estabilidade do revestimento.
O exposto acima são as etapas operacionais básicas da máquina de revestimento óptico. Máquinas de revestimento óptico de diferentes modelos e especificações podem ter diferentes operações específicas. Portanto, no processo de operação real, o manual do equipamento deve ser seguido estritamente e os regulamentos de segurança relevantes e procedimentos operacionais devem ser observados.
