A evaporação do feixe de elétrons é colocar o material do filme em um cadinho de cobre resfriado a água e usar diretamente o aquecimento de feixe de elétrons para fazer os átomos ou moléculas no material do filme vaporizar e escapar da superfície, depois entra na superfície do substrato e condense em um filme.
A evaporação do feixe de elétrons tem maior eficiência térmica, maior densidade da corrente do feixe, velocidade de evaporação mais rápida e maior pureza do filme do que a evaporação geral do aquecimento da resistência.
Aplicações:
A máquina de revestimento óptico pode revestir uma variedade de sistemas de filmes com um grande número de camadas, como passe de ondas curtas, passe de onda longa, filme anti-reflexão, filme reflexivo, filme de filtro, filme espectroscópico, filme de banda, filme dielétrico, filme de alta reflexão, filme reflexivo de cores, etc.
Ele pode atingir o revestimento de filme de 0 a 50 camadas de filme e também pode atender aos requisitos de revestimento de produtos como vidro refletivo automotivo, óculos, lentes ópticas, xícaras de luz fria, etc.
Ele pode revestir uma variedade de sistemas de filmes com diferentes fontes de evaporação, armas de elétrons, fontes de íons e medidores de espessura do filme, e pode evaporar metais, óxidos, compostos e outros materiais de filme de alto ponto de fusão.
Características:
A máquina de revestimento óptico está equipada com um medidor de espessura de filme de cristal de quartzo, e o sistema de tela de toque e PLC e o sistema de tela são combinados para obter o controle automático de todo o processo de trabalho, com excelente eficiência de trabalho e repetibilidade da qualidade do produto.
Adequado para uso por fabricantes no campo óptico e requisitos de produção industrial em larga escala.
Especificação:
| Máquina de revestimento óptico | |||||||
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Modelo |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
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Tamanho da câmara |
Φ800 × 1000mm |
Φ1200 × 1400mm |
Φ1400 × 1600mm |
Φ1600 × 1800mm |
Φ1000 × 1100mm |
Φ1200 × 1400mm |
Φ1600 × 1800mm |
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Unidade de vácuo |
Unidade de bomba de difusão KT500 |
Unidade da bomba de difusão KT630 |
Unidade de bomba de difusão dupla KT630 |
Unidade de bomba de difusão dupla KT630 |
Unidade de bomba de difusão KT500 |
Unidade da bomba de difusão KT630 |
Unidade de bomba de difusão dupla KT630 |
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Sistema de revestimento |
Fonte de evaporação de armas de elétrons, cotação de íons auxiliares Fonte de alimentação ou fonte de íons de salão |
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Sistema de inflação |
Controlador de pressão |
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Método de controle |
Manual ou totalmente automático |
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Sistema de monitoramento de espessura do filme |
Sistema de monitoramento de espessura do filme de cristal de quartzo |
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Taxa de bombeamento |
5 × 10-3Pa ﹤ 15min |
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Ultimate Vacuum |
3.0x10-4pa |
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Observação |
Os parâmetros do equipamento acima são apenas para referência e são projetados e personalizados de acordo com os requisitos reais do processo dos clientes. |
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