1. Estrutura básica da máquina de revestimento a vácuo
A máquina de revestimento a vácuo é um dispositivo que deposita filme fino na superfície do substrato por métodos físicos ou químicos em ambiente de vácuo. Sua estrutura principal inclui as seguintes peças:
1. Sistema de vácuo: é composto de bomba mecânica, bomba molecular, bomba de difusão, etc., que é usada para bombear a câmara de revestimento para um ambiente de alto vácuo de 10⁻³ ~ 10⁻⁶ PA (consulte "Manual de tecnologia de revestimento a vácuo"). Por exemplo, a bomba mecânica pode reduzir a pressão para 1 ~ 10 pA, e a bomba molecular pode reduzi -la ainda abaixo de 10 ⁻⁴ PA.
2. Câmara de revestimento: O corpo principal é uma cavidade de aço inoxidável, que é resistente à corrosão e tem uma vedação forte. O tamanho varia de 0,5 m³ para pequenos laboratórios a 5 m³ para grau industrial (como o modelo ARL-300 da ULVAC).
3. Fonte de evaporação: selecione Aquecimento de resistência, feixe de elétrons ou fonte de pulverização de magnetron de acordo com os requisitos do processo. Por exemplo, a potência da fonte de evaporação do feixe de elétrons pode atingir 10 kW, e a taxa de evaporação é de cerca de 1 ~ 5 nm/s.
2. Diferenças na composição de diferentes tipos de máquinas de revestimento
1. Equipamento de deposição de vapor físico (PVD):
- As máquinas de revestimento de pulverização de magnetron precisam estar equipadas com materiais alvo (como alvos de titânio, alvos de alumínio) e sistemas de campo magnético, e a pressão do gás de trabalho é geralmente de 0,1 ~ 10 pA.
- Máquinas de revestimento de íons de arco adicionam fontes de arco, a corrente pode atingir 100 ~ 200 a e a adesão do filme é mais forte.
2. Equipamento de deposição de vapor químico (CVD):
- Gases reativos (como SiH₄, Ch₄) precisam ser introduzidos, e um sistema de controle de fluxo de gás está equipado, com uma precisão de ± 1 SCCM (mililitros padrão/minuto).
3. Sistemas auxiliares e parâmetros técnicos -chave
1. Sistema de controle: PLC ou computador industrial é usado para monitorar o vácuo, a temperatura (precisão de ± 1 grau) e a espessura do filme (medido pelo método de oscilação de cristal de quartzo, precisão ± 0,1 nm) em tempo real.
2. Sistema de resfriamento: A vazão do projeto do oleoduto de resfriamento de água é geralmente de 20 ~ 50 L/min para garantir a estabilidade da operação a longo prazo do equipamento.
4. Cenários de aplicativos e recomendações de seleção
1. Coating óptico: requer alta uniformidade (desvio de espessura de ± 1%) e precisa selecionar uma fonte de evaporação de feixe de elétrons multi-crucível.
2. Casado de ferramentas: concentra -se na dureza (como o revestimento de estanho pode atingir 2000 hv) e é preferível o equipamento de revestimento de íons de arco.
Através da análise acima, os usuários podem escolher o tipo e a configuração da máquina de revestimento correspondentes de acordo com as necessidades reais (como desempenho do filme, eficiência de produção).
