Reparo e manutenção da bomba de difusão de revestimento a vácuo

A bomba de difusão é o componente principal da máquina de revestimento a vácuo. Para que a máquina opere em boas condições, é muito importante manter e manter a bomba de difusão da máquina de revestimento a vácuo.
1. A água de resfriamento deve ser mantida desobstruída durante a operação da bomba de difusão. Depois de interromper o aquecimento, a água de resfriamento só pode ser desligada depois que o fluido de trabalho da bomba foi completamente resfriado.
2. Quando a bomba de difusão para de funcionar, a bomba deve ser mantida em um estado de vácuo para impedir que o óleo da bomba se deteriore.
3. O gás bombeado deve estar seco, não corrosivo e sem poeira.
4. Se a bomba de difusão não for usada temporariamente, ela deve ser mantida em um estado de vácuo durante o armazenamento para evitar a contaminação do óleo da bomba e a corrosão de várias partes e soprar a água restante na jaqueta de água resfriadora. A temperatura ambiente do local deve ser mantida entre 10-40 graus Celsius.
5. O desempenho da bomba de difusão se deteriorará gradualmente após a operação de longo prazo e deve ser verificado regularmente. Por exemplo: se o óleo da bomba é reduzido ou oxidado, adicione óleo ou substitua -o de acordo com os requisitos correspondentes; As peças e a câmara da bomba são limpas pela primeira vez com gasolina de aviação, depois esfregadas com acetona e colocadas a 80-100 graus Celsius para secar ou secar com um secador de cabelo. Após o processamento, monte em ordem, mantenha o núcleo da bomba e o fundo da bomba vertical e concêntrico com a câmara da bomba e ajuste as lacunas entre os bocais em cada nível de acordo com os requisitos originais.
6. Depois que a água evapora, instale o núcleo da bomba, adicione novo óleo da bomba de difusão e reinstale o corpo, conecte o tubo de água, instale a placa do fogão elétrico e, em seguida, você pode reiniciar a máquina.
7. Antes de reiniciar, preste atenção à detecção de vazamentos. O método é: inicie a bomba de manutenção, feche a porta da câmara de vácuo e, após alguns minutos, observe se o grau de vácuo é de 6*100 pa, caso contrário, a detecção de vazamento é necessária para verificar se o anel de borracha de vedação está ausente na conexão ou no anel de vedação é esmagado. O aquecimento pode ser realizado somente após a eliminação do perigo oculto de vazamento, caso contrário, o óleo da bomba de difusão queimará e não pode entrar no estado de trabalho.