Várias fontes de íons comuns no processo de revestimento de máquinas de revestimento a vácuo

Para melhorar a adesão, a força de ligação e a estrutura do filme da peça de trabalho, muitas máquinas de revestimento a vácuo são equipadas com fontes de íons durante o processo de revestimento.
Embora existam muitos tipos de fontes de íons, seu objetivo nada mais é do que limpeza on -line, melhorando a distribuição de energia e a modulação da superfície banhada para aumentar a energia do gás de reação. A fonte de íons pode melhorar bastante a força de ligação entre o filme e o substrato e também pode melhorar a dureza e a resistência ao desgaste do próprio filme. Se a camada resistente ao desgaste da ferramenta de eletroplicação geralmente for mais espessa e a uniformidade da espessura do filme não for alta, uma fonte de íons com uma corrente de íons maior e um nível de energia mais alto, como uma fonte de íons do salão ou uma fonte de íons de ânodo, poderá ser usada.
O princípio da fonte de íons da camada de ânodo é semelhante ao da fonte de íons do salão. Uma fenda estreita anular (retangular ou circular) é adicionada com um campo magnético aprimorado, e o gás de trabalho é ionizado e emitido à peça de trabalho sob a ação do ânodo. A fonte de íons da camada de ânodo pode ser muito grande e longa, o que é particularmente adequado para a eletroplicação de peças grandes, como vidro arquitetônico. A corrente de íons da fonte de íons da camada de ânodo também é grande. No entanto, o fluxo de íons é divergente e a distribuição do nível de energia é muito ampla. Geralmente é adequado para peças de trabalho grandes, vidro, resistente ao desgaste e peças de trabalho decorativas. Mas não há muitas aplicações em revestimentos ópticos avançados.
Este revestimento a vácuo está equipado com uma fonte de íons do salão, onde o ânodo e o forte campo magnético axial trabalham juntos para ionizar o gás do processo. O forte desequilíbrio do campo magnético axial separa os íons gasosos para formar um feixe de íons. Como o campo magnético axial é muito forte, o feixe de íons de origem do salão precisa ser suplementado com elétrons para neutralizar o fluxo de íons. Uma fonte de neutralização comum é um filamento de tungstênio (cátodo).